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本发明公开了一种晶圆贴膜瑕疵检测系统及方法，涉及晶圆贴膜瑕疵检测技术领域，包括以下步骤：在晶圆贴膜瑕疵检测过程中，通过激光扫描仪按照预设光束覆盖率发射激光束，覆盖晶圆表面进行初步扫描；在激光束扫描的过程中，通过对激光反射信号的强度和一致性进...
该专利属于星隆科技（江苏）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过星隆科技（江苏）有限公司授权不得商用。

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