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公开了包括超结结构的半导体器件。一种半导体器件(10)，包括晶体管。晶体管包括被形成在半导体衬底(100)中的多个栅极沟槽(111)，栅极沟槽(111)使半导体衬底(100)图案化为脊(114)。晶体管还包括栅极电极(110)，其被布置在栅...
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