下载经由烧结层连接至衬底的半导体管芯上的保护ALD或PECVD层的施加的技术资料

文档序号:44414095

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本公开内容涉及经由烧结层连接至衬底的半导体管芯上的保护ALD或PECVD层的施加。一种用于制造半导体器件的方法,该方法包括:提供衬底;将烧结膏层施加至该衬底;将半导体管芯置于烧结膏层上或上方;执行烧结工艺,从而将烧结膏层转换成烧结层;以及通...
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