下载用于将EIC组装到PIC以构建光学引擎的方法的技术资料

文档序号:44414020

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本公开涉及一种用于将电子集成电路EIC组装到光子集成电路PIC以构建光学引擎的方法。本发明提供一种用于制备EIC以对光学引擎进行所述组装的方法。所述方法涉及通过正面到背面接合将基于CMOS的EIC晶片堆叠到短环路/中介层晶片上。这种堆叠式配...
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