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一种图形修正方法，包括：提供待修正版图，所述待修正版图包括若干待修正图形；对待修正版图进行曝光显影，获取光刻版图，所述光刻版图包括若干光刻图形，所述光刻图形与所述待修正图形一一对应；获取光刻图形的三维轮廓；判断所述三维轮廓的侧壁是否发生偏移...
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