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下载静电吸盘的技术资料

文档序号:44410015

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本发明提供一种静电吸盘,其能够抑制接合层发生剥离。静电吸盘(10)具备:电介体基板(100);基座板(200);及接合层(300),对电介体基板(100)与基座板(200)之间进行接合。接合层(300)是在树脂310的内部含有多个颗粒状的填...
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