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用于清洗晶圆的刷子包括：刷子，其内部包括喷射清洗液的中空，并且外表面形成有多个突起；以及膜，其设置为包覆所述刷子的外表面，所述膜包括多个供所述多个突起贯穿的孔。...
该专利属于允斯莱株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过允斯莱株式会社授权不得商用。

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