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一种分光束多焦点的超快激光加工装置及方法，涉及透明硬脆材料激光切割领域，包括超快激光器、第一分束镜、第一二向色镜、第一光阑、反射镜、第二二向色镜、第二光阑、第一聚焦透镜组和第二聚焦透镜组；超快激光器发出的激光在第一分束镜下分成能量相等的透射...
该专利属于上海航天控制技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过上海航天控制技术研究所授权不得商用。

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