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本技术提供了一种管式ALD设备的管路系统，包括设置在炉管内的进气管路和进水管路，进气管路和进水管路从炉管的炉口处向炉内延伸至炉管的中部，进气管路包括依次连接的进气段、第一出气段和第二出气段，进气段连接位于炉口处的进气口，第一出气段靠近进气段...
该专利属于云南润阳世纪光伏科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过云南润阳世纪光伏科技有限公司授权不得商用。

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