管式ALD设备的管路系统技术方案

本技术提供了一种管式ALD设备的管路系统，包括设置在炉管内的进气管路和进水管路，进气管路和进水管路从炉管的炉口处向炉内延伸至炉管的中部，进气管路包括依次连接的进气段、第一出气段和第二出气段，进气段连接位于炉口处的进气口，第一出气段靠近进气段的管路侧壁上均匀的开设有成排的第一出气孔，第二出气段延伸至炉管的中部，第二出气段的管路侧壁上均匀的开设有成排的第二出气孔，第二出气孔的开口直径大于第一出气孔，进水管包括依次连接的进水连接段和出水段，进水连接段连接位于炉口处的进水口线炉管内供水。其通过对炉管内的进水管路和进气管路进行优化，改善炉口、炉尾处气体分布差异大的情况，和炉口水量过多导致的外观不良情况。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及管式pecvd，尤其涉及一种管式ald设备的管路系统。

技术介绍

1、在晶硅太阳能电池生产过程的镀膜工序中，管式ald设备是通过单根进气管在炉管的炉口进气，炉尾抽气，以使特气和tma气体在炉管内扩散分布，从而在石墨舟内的硅片上发生反应镀膜，随着产能提升，炉管直径和长度越来越大，现有炉口进气管进气方式逐渐显现出劣势，目前的进气管普遍较短，通入炉管的气体主要从炉口处射出并向炉尾处扩散，这样在炉口处反应消耗多，导致炉口、炉尾气量差异较大，使炉管内均匀性变差，进而影响效率性能，另外进水也同样存在这样的问题，在炉口处进水管普遍较短，水量在炉口处过多，容易侵蚀石墨舟导致外观不良，良品率下降。

2、因此，有必要设计一种管式ald设备的管路系统，以解决上述问题。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种管式ald设备的管路系统，通过对炉管内的进水管路和进气管路进行优化，改善炉口、炉尾处气体分布差异大的情况，和炉口水量过多导致的外观不良情况。

2、为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：一种本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种管式ALD设备的管路系统，其特征在于：包括设置在炉管内的进气管路和进水管路，所述进气管路和所述进水管路从炉管的炉口处向炉内延伸至炉管的中部，所述进气管路包括依次连接的进气段、第一出气段和第二出气段，所述进气段连接位于炉口处的进气口，所述第一出气段靠近进气段的管路侧壁上均匀的开设有成排的第一出气孔，所述第二出气段延伸至炉管的中部，所述第二出气段的管路侧壁上均匀的开设有成排的第二出气孔，所述第二出气孔的开口直径大于所述第一出气孔，所述进水管路包括依次连接的进水连接段和出水段，所述进水连接段连接位于炉口处的进水口向炉管内供水。

2.根据权利要求1所述的管式ALD设备的管路系...

【技术特征摘要】

1.一种管式ald设备的管路系统，其特征在于：包括设置在炉管内的进气管路和进水管路，所述进气管路和所述进水管路从炉管的炉口处向炉内延伸至炉管的中部，所述进气管路包括依次连接的进气段、第一出气段和第二出气段，所述进气段连接位于炉口处的进气口，所述第一出气段靠近进气段的管路侧壁上均匀的开设有成排的第一出气孔，所述第二出气段延伸至炉管的中部，所述第二出气段的管路侧壁上均匀的开设有成排的第二出气孔，所述第二出气孔的开口直径大于所述第一出气孔，所述进水管路包括依次连接的进水连接段和出水段，所述进水连接段连接位于炉口处的进水口向炉管内供水。

2.根据权利要求1所述的管式ald设备的管路系统，其特征在于：所述第二出气段与所述第一出气段之间形成倾斜夹角，所述夹角的范围在0°－90°。

3.根据权利要求1所述的管式ald设备的管路系统，其特征在于：所述进气段为ｕ型双...

【专利技术属性】
技术研发人员：王震，
申请(专利权)人：云南润阳世纪光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：