下载TCO镀膜载板清洗装置的技术资料

文档序号:44368577

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开一种TCO镀膜载板清洗装置,TCO镀膜载板清洗装置包括支架、激光模组和清扫模组,支架上设有用于支撑载板的支撑件。激光模组安装于支架,激光模组能够将激光投射至载板的表面。清扫模组安装于支架并能够扫离载板的表面上的铟。本发明提供的TC...
该专利属于华能(嘉峪关)新能源有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华能(嘉峪关)新能源有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。