TCO镀膜载板清洗装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种TCO镀膜载板清洗装置，TCO镀膜载板清洗装置包括支架、激光模组和清扫模组，支架上设有用于支撑载板的支撑件。激光模组安装于支架，激光模组能够将激光投射至载板的表面。清扫模组安装于支架并能够扫离载板的表面上的铟。本发明专利技术提供的TCO镀膜载板清洗装置TCO镀膜载板清洗装置具有对载板的清洗成本低，时间可控的优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光伏组件，具体涉及一种tco镀膜载板清洗装置。

技术介绍

1、相关技术中，在异质结电池生产过程中tco(transparent conductive oxide，平板玻璃表面通过物理或化学镀膜方法均匀的镀上一层透明的导电氧化物薄膜而形成的组件)采用的是溅射镀膜(也是主流的镀膜方式)。硅片放在载板上镀膜的时候不仅硅片上面有镀膜，载板上也镀上膜，通常在载板使用到一定次数时就需要送出去清洗，但是清洗载板的成本昂贵，且需要有专门的清洗公司才可以清洗，选择性比较少，且时间不可控。

技术实现思路

1、本专利技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。

2、为此，本专利技术的实施例提出一种tco镀膜载板清洗装置，该tco镀膜载板清洗装置具有对载板的清洗成本低，时间可控的优点。

3、本专利技术实施例的tco镀膜载板清洗装置包括支架、激光模组和清扫模组，所述支架上设有用于支撑载板的支撑件；所述激光模组安装于所述支架，所述激光模组能够将激光投射至所述载板的表面；所述清扫模组安装于所本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种TCO镀膜载板清洗装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的TCO镀膜载板清洗装置，其特征在于，所述TCO镀膜载板清洗装置还包括吸铟模组，所述吸铟模组安装于所述支架并能够吸收并存储所述载板的表面上离散的铟。

3.根据权利要求2所述的TCO镀膜载板清洗装置，其特征在于，所述支撑件包括传送带，所述激光模组和所述清扫模组均固定安装在所述支架上，所述清扫模组和所述激光模组沿所述传送带的输送方向依次排列。

4.根据权利要求3所述的TCO镀膜载板清洗装置，其特征在于，所述传送带的数量为两个，两个所述传送带沿所述传送带的宽度方向间隔排列，所述载板在所...

【技术特征摘要】

1.一种tco镀膜载板清洗装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的tco镀膜载板清洗装置，其特征在于，所述tco镀膜载板清洗装置还包括吸铟模组，所述吸铟模组安装于所述支架并能够吸收并存储所述载板的表面上离散的铟。

3.根据权利要求2所述的tco镀膜载板清洗装置，其特征在于，所述支撑件包括传送带，所述激光模组和所述清扫模组均固定安装在所述支架上，所述清扫模组和所述激光模组沿所述传送带的输送方向依次排列。

4.根据权利要求3所述的tco镀膜载板清洗装置，其特征在于，所述传送带的数量为两个，两个所述传送带沿所述传送带的宽度方向间隔排列，所述载板在所述传送带的宽度方向相对的两端分别抵靠在两个所述传送带上；

5.根据权利要求2所述的tco镀膜载板清洗装置，其特征在于，所述支撑部包括支撑板，所述激光模组和所述清扫...

【专利技术属性】
技术研发人员：牛靖凯，陈国军，王玮，刘杰，汪海军，杨博，董伟，赵东明，李孟蕾，王立闯，杨斌，周颖，虞祥瑞，陈传科，
申请(专利权)人：华能嘉峪关新能源有限公司，
类型：发明
国别省市：