下载表面粗糙化方法的技术资料

文档序号:4435175

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种在半导体基片(2)中形成粗糙界面(12)的方法,所述方法包括:在所述基片的表面(4)上形成氧化物或能够被氧化的材料(6)的无规性区域(8)或者在氧化物或能够被氧化的材料(6)之上的无规性区域(8),通过所述材料或所述氧化物(6...
该专利属于硅绝缘体技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过硅绝缘体技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。