下载分子束外延设备的外延生长室结构的技术资料

文档序号:44331092

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本发明涉及分子束外延设备技术领域,且公开了分子束外延设备的外延生长室结构,包括设备主体、反应箱和密封法兰,反应箱设置于设备主体的一侧,且反应箱与设备主体配合使用,密封法兰安装于反应箱的顶部,密封法兰的表面套设有密封圈,密封圈的内部设置有密封...
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