【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及分子束外延设备，具体为分子束外延设备的外延生长室结构。
技术介绍
1、分子束外延设备是一种高度精密的材料生长系统，主要用于在高真空环境中进行外延生长，制造高质量的半导体、金属或绝缘薄膜。该设备广泛应用于半导体器件的制造、光电材料、超导薄膜、量子点等领域。
2、分子束外延设备对密封要求非常高，因为mbe生长过程需要在极高真空和低污染的环境下进行，因此，设备的密封性直接影响生长过程的质量、薄膜的特性以及设备的长期稳定性，而为了保持最佳的生长条件和薄膜质量，工作人员需要定期对反应室内部的各个组件进行检查、清洁或维护。
3、而现有的反应室通常采用螺栓与连通管进行连接密封，螺栓紧固需要精确的对准和适当的扭矩控制，并需要使用特殊的工具，此外，拆卸和重新安装螺栓连接时，需要花费较多的时间和劳动力，从而增加维护成本。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本专利技术提供了分子束外延设备的外延生长室结构，解决了上述背景中提到的问题。
2、本专利技术提供如下技
【技术保护点】
1.分子束外延设备的外延生长室结构，包括设备主体(1)、反应箱(101)和密封法兰(102)，所述反应箱(101)设置于设备主体(1)的一侧，且所述反应箱(101)与设备主体(1)配合使用，所述密封法兰(102)安装于反应箱(101)的顶部，其特征在于，所述密封法兰(102)的表面套设有密封圈(2)，所述密封圈(2)的内部设置有密封加固机构。
2.根据权利要求1所述的分子束外延设备的外延生长室结构，其特征在于，所述密封加固机构包括槽口(201)、齿圈(202)、轴体(203)、第一齿轮(204)、第二齿轮(205)、齿杆(206)、连接板(207)、移动块...
【技术特征摘要】
1.分子束外延设备的外延生长室结构，包括设备主体(1)、反应箱(101)和密封法兰(102)，所述反应箱(101)设置于设备主体(1)的一侧，且所述反应箱(101)与设备主体(1)配合使用，所述密封法兰(102)安装于反应箱(101)的顶部，其特征在于，所述密封法兰(102)的表面套设有密封圈(2)，所述密封圈(2)的内部设置有密封加固机构。
2.根据权利要求1所述的分子束外延设备的外延生长室结构，其特征在于，所述密封加固机构包括槽口(201)、齿圈(202)、轴体(203)、第一齿轮(204)、第二齿轮(205)、齿杆(206)、连接板(207)、移动块(208)、压紧块(209)和蜗杆(210)，所述槽口(201)开设于密封圈(2)的内侧，所述槽口(201)的数量有若干个，且均匀分布在密封圈(2)的内侧，所述齿圈(202)转动连接于密封圈(2)的内部，四个所述轴体(203)通过轴承连接于密封圈(2)的内壁，四个所述第一齿轮(204)分别套接于轴体(203)的表面，且四个所述第一齿轮(204)啮合连接于齿圈(202)的内侧，四个所述第二齿轮(205)分别套接于轴体(203)的表面且分别位于四个第一齿轮(204)的顶部，四个所述齿杆(206)啮合连接于四个第二齿轮(205)的一侧，四个所述连接板(207)分别固定连接于四个齿杆(206)的端部，四对所述移动块(208)分别固定连接于四个连接板(207)的外侧且位于槽口(201)的内部，四对所述移动块(208)相对设置，四对所述压紧块(209)设置于密封法兰(102)的顶部和底部，四对所述压紧块(209)分别位于四对移动块(208)的内侧，所述蜗杆(210)啮合连接于齿圈(202)的外侧，所述蜗杆(210)的一端设置于密封圈(2)的内部，所述蜗杆(210)的另一端贯穿至密封圈(2)的外侧。
3.根据权利要求2所述的分子束外延设备的外延生长室结构，其特征在于，四对所述压紧块(209)的顶部和底部均设为斜面，四对所述移动块(208)为...
【专利技术属性】
技术研发人员：梁枫，张冬，马志博，
申请(专利权)人：合肥华杨科学仪器有限公司，
类型：发明
国别省市：
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