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本技术提供了一种通过sin插入层优化GaN器件背面欧姆接触结构,属于GaN器件技术领域,该通过sin插入层优化GaN器件背面欧姆接触结构包括GaN基板以及置于所述GaN基板背面的sin层,其中,所述sin层设置有凹凸结构,所述凹凸结构具体为...该专利属于苏州创芯致尚微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州创芯致尚微电子有限公司授权不得商用。
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