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本技术公开了一种用于半导体封装的晶圆切割装置,包括固定箱体、移动块和切割设备本体,所述固定箱体内部的顶端安装有固定架,且固定架的上方设置有晶圆本体,所述固定箱体的顶端安装有环形滑轨,且环形滑轨的内部设置有支撑架,所述固定箱体的顶端设置有用于...该专利属于上海博纳微电子设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海博纳微电子设备有限公司授权不得商用。
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