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提供了一种声学测量装置，其安装在真空室中，用于确定真空室中的声波生成源的状态。声学测量装置包括：声波收集装置，在真空室中，并配置为收集从真空室中的声波生成源生成的声音；以及馈线，配置为将由声波收集装置收集的声音的声波信息转换为电信号并将声波...
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