【技术实现步骤摘要】
本公开的实施例的方面涉及用于测量真空室中的声学的装置和方法。
技术介绍
1、制造qd(量子点)oled(有机发光二极管)显示器利用了有机薄膜沉积。
2、用于沉积用于现有oled显示器的大面积有机薄膜的直列式蒸发器通常被使用，并且大面积有机薄膜通过在高真空室中在大型衬底上沉积涂覆有机材料气体来制造。
3、为了确认在真空室中是否在衬底上进行了良好的沉积工艺，可以使用测量真空室中生成的声音(例如声波)的方法。
4、测量声音的方法包括收集由声波生成源生成(例如，发射)的声波，以确定声波生成源的状态(例如，状况)。
5、然而，一般来说，在真空中没有介质(例如，空气)来传输声波，因此真空室中的声波测量是不可能的。
6、因此，近年来，已经对通过直接接触真空室中的测试对象，并且通过测试对象收集声波，并根据测试对象的振动将声波转换为电信号，从而确定声波生成源的状态进行了研究。
7、例如，将包括声波收集装置的测量装置放置为与真空室中的声波测量点接触，从该点生成的声波通过测量箱的固体介质...
【技术保护点】
1.一种声学测量装置，安装在真空室中，用于确定所述真空室中的声波生成源的状态，其特征在于，所述声学测量装置包括：
2.根据权利要求1所述的声学测量装置，其特征在于，所述声波收集装置附接在所述真空室的内壁上或附接在所述真空室中的移动装置上。
3.根据权利要求2所述的声学测量装置，其特征在于，所述移动装置是真空机器人、泵、掩模、升降装置、转台和倒装芯片中的任何一种。
4.根据权利要求2所述的声学测量装置，其特征在于，所述声波收集装置的内部处于大气压下。
5.根据权利要求4所述的声学测量装置，其特征在于，所述声波收集装置配置为...
【技术特征摘要】
1.一种声学测量装置，安装在真空室中，用于确定所述真空室中的声波生成源的状态，其特征在于，所述声学测量装置包括：
2.根据权利要求1所述的声学测量装置，其特征在于，所述声波收集装置附接在所述真空室的内壁上或附接在所述真空室中的移动装置上。
3.根据权利要求2所述的声学测量装置，其特征在于，所述移动装置是真空机器人、泵、掩模、升降装置、转台和倒装芯片中的任何一种。
4.根据权利要求2所述的声学测量装置，其特征在于，所述声波收集装置的内部处于大气压下。
5.根据权利要求4所述的声学测量装置，其特征在于，所述声波收集装置配置为检测所述真空室的所述内壁或所述移动装置的振动并将所述振动转换为声波。
【专利技术属性】
技术研发人员：徐昌郁，姜有珍，朴永勳，尹盛根，赵喆来，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。