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本申请提供了一种曝光系统、光刻机及曝光控制方法，涉及光刻机技术领域。曝光系统中曝光控制装置中的温度传感器对光强传感器进行温度探测，得到快门打开后光强传感器的实时温度；曝光控制装置中的温度控制器获取实时温度，并根据实时温度，以及预设温度与光强...
该专利属于新毅东（北京）科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过新毅东（北京）科技有限公司授权不得商用。

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