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本发明涉及一种垂直腔面发射激光器阵列及其制造方法、芯片、激光雷达，所述方法包括：提供一外延层，包括依次叠设在基底上的第一反射镜、有源层及第二反射镜；对外延层进行台面刻蚀，形成第一沟槽；在第一沟槽中形成第一电极；形成覆盖第一电极的第一钝化层；...
该专利属于浙江老鹰半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江老鹰半导体技术有限公司授权不得商用。

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