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本技术公开一种膜材固定装置以及扩晶设备，其中，所述膜材固定装置包括安装座、吸附固定组件以及加热组件；所述吸附固定组件安装于所述安装座上，所述吸附固定组件设有吸附面，所述吸附面用于放置膜材，所述吸附固定组件用于吸附固定或者释放膜材；所述吸附固...
该专利属于海目星激光科技集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过海目星激光科技集团股份有限公司授权不得商用。

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