【技术实现步骤摘要】
本技术涉及扩晶设备，特别涉及一种膜材固定装置以及扩晶设备。
技术介绍
1、在扩晶加工方面，目前的扩晶装置的固膜治具工位具有加热的功能，目的是为了使得膜材受热，便于拉伸膜材。但是，目前的扩晶装置加热膜材时由于加热不均匀易使膜材起皱，造成膜材局部或者整体发生褶皱的现象，导致在拉伸膜材的过程中膜材的张力不均衡而致使芯片无法均匀地排布，影响到了扩晶加工的质量。
技术实现思路
1、本技术主要提供一种膜材固定装置以及扩晶设备，以解决目前的扩晶装置加热不均匀易使膜材起皱而导致扩晶后的芯片无法均匀地排布的问题。
2、为实现上述目的，本技术提出一种膜材固定装置，所述膜材固定装置包括安装座、吸附固定组件以及加热组件；其中，
3、所述吸附固定组件安装于所述安装座上，所述吸附固定组件设有吸附面，所述吸附面用于放置膜材，所述吸附固定组件用于吸附固定或者释放膜材；
4、所述吸附固定组件设有安装位，所述安装位设于所述吸附面的下方，所述加热组件设于所述安装位，所述加热组件用于加热所述吸...
【技术保护点】
1.一种膜材固定装置，其特征在于，所述膜材固定装置包括安装座、吸附固定组件以及加热组件；其中，
2.如权利要求1所述的膜材固定装置，其特征在于，所述安装位包括多个安装槽，所述多个安装槽沿所述吸附面的周向方向间隔分布，所述加热组件包括多个加热件，所述多个加热件设于对应的安装槽内。
3.如权利要求2所述的膜材固定装置，其特征在于，所述安装槽自所述吸附面的中心部位向远离所述吸附面中心部位的方向延伸设置，所述加热件呈长条状设置。
4.如权利要求3所述的膜材固定装置，其特征在于，所述加热件设有第一加热段和第二加热段，所述第一加热段邻近所述安装...
【技术特征摘要】
1.一种膜材固定装置，其特征在于，所述膜材固定装置包括安装座、吸附固定组件以及加热组件；其中，
2.如权利要求1所述的膜材固定装置，其特征在于，所述安装位包括多个安装槽，所述多个安装槽沿所述吸附面的周向方向间隔分布，所述加热组件包括多个加热件，所述多个加热件设于对应的安装槽内。
3.如权利要求2所述的膜材固定装置，其特征在于，所述安装槽自所述吸附面的中心部位向远离所述吸附面中心部位的方向延伸设置，所述加热件呈长条状设置。
4.如权利要求3所述的膜材固定装置，其特征在于，所述加热件设有第一加热段和第二加热段，所述第一加热段邻近所述安装槽的槽底并对应所述吸附面的中心部位设置，所述第二加热段邻近所述安装槽的槽口设置，所述第一加热段的加热温度高于所述第二加热段的加热温度。
5.如权利要求1所述的膜材固定装置，其特征在于，所述膜材固定装置还包括连接于所述安装座的升降组件，所述吸附固定组件与所述升降组件连接，所述安装座设有供所述吸附固定组件通过的升降通道，所述升降通道沿竖向方向延伸设置，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：王元召，黄柏源，涂渭清，彭信翰，徐念，郭林豪，
申请(专利权)人：海目星激光科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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