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一种半导体行业污染物微粒检测计数器制造技术
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文档序号:44266440
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本技术提供一种半导体行业污染物微粒检测计数器,应用于污染物排放的废液管道和废气管道,污染物微粒检测计数器包括第一监测支管和第二监测支管,第一监测支管的两端均与废液管道连通,第一监测支管设置的检测单元用于对液体流体进行监测,第二监测支管的两端...
该专利属于李立志所有,仅供学习研究参考,未经过李立志授权不得商用。
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