一种半导体行业污染物微粒检测计数器制造技术

本技术提供一种半导体行业污染物微粒检测计数器，应用于污染物排放的废液管道和废气管道，污染物微粒检测计数器包括第一监测支管和第二监测支管，第一监测支管的两端均与废液管道连通，第一监测支管设置的检测单元用于对液体流体进行监测，第二监测支管的两端均与废气管道连通，第二监测支管设置的检测单元用于对气体流体进行监测。本技术能够对液体管道和气体管道内的流体进行颗粒进行过滤和监测，并将数据传输给用户，用户得到数据后，可以进行处理，有效预防液体管道和气体管道出现堆积堵塞的情况，增加设备的安全性，也有助于保障达到国家排放标准，再实施排放。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及污染监测，具体为一种半导体行业污染物微粒检测计数器。

技术介绍

1、由于在半导体工艺制程中，需要使用多种特殊气体、大量的酸、碱等化学品以及有机溶剂和挥发性液体，这些气体和化学品在半导体制造的不同工艺中使用会产生废气，这些废气如果没有经过废气处理设备很好的处理便进行排放，将造成严重的问题，不仅影响人们的身体健康，恶化大气环境，造成环境污染的公害事件等，也会成为半导体制造中amc污染的重要来源。

2、其中污染物主要为：“废气、废水”，废气一般分为酸性废气、碱性废气、有机废气、砷排和一般废气等。其中废气中所含的颗粒常有：氟化物、挥发性有机物、pfcs；废水中的污染物颗粒常有：总镉、总铭、六价铭等元素。常因气体特性导致在管道中结晶或粉尘堆积，造成管道堵塞后导致气体外泄，严重者甚至引发爆炸，危害现场工作人员的工作安全，液体管道也会因为颗粒过多，在管道中堆积堵塞造成安全隐患，因此需要对液体管道和气体管道内的流体进行颗粒进行监测。

技术实现思路

1、本技术目的在于提供一种半导体行业污染物微粒检测计数器本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种半导体行业污染物微粒检测计数器，应用于污染物排放的废液管道(1)和废气管道(2)，其特征在于：包括：

2.根据权利要求1所述的一种半导体行业污染物微粒检测计数器，其特征在于：所述第一过滤模块(5)为滤芯，所述第一调压模块(6)为液体调压阀。

3.根据权利要求1所述的一种半导体行业污染物微粒检测计数器，其特征在于：所述第一温控模块(7)包括加热组件(701)和制冷组件(702)，加热组件(701)和制冷组件安装在监测管道(703)上。

4.根据权利要求1所述的一种半导体行业污染物微粒检测计数器，其特征在于：所述第一数据采集处理模块(9)和第二数据...

【技术特征摘要】

1.一种半导体行业污染物微粒检测计数器，应用于污染物排放的废液管道(1)和废气管道(2)，其特征在于：包括：

2.根据权利要求1所述的一种半导体行业污染物微粒检测计数器，其特征在于：所述第一过滤模块(5)为滤芯，所述第一调压模块(6)为液体调压阀。

3.根据权利要求1所述的一种半导体行业污染物微粒检测计数器，其特征在于：所述第一温控模块(7)包括加热组件(701)和制冷组件(702)，加热...

【专利技术属性】
技术研发人员：李立志，
申请(专利权)人：李立志，
类型：新型
国别省市：