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本申请公开了一种半导体设备反应腔聚合物清理装置，属于半导体集成电路制造技术领域。包括粉尘收集器、手持握柄；所述粉尘收集器与手持握柄之间通过设置有波纹管连通，所述手持握柄的一端设置有吸附口，所述吸附口的内部与波纹管连通；所述手持握柄的一侧活动...
该专利属于苏州鑫睿微电子设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州鑫睿微电子设备有限公司授权不得商用。

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