温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术涉及衬底片生产技术领域，公开了一种衬底片的取片倒盒装置，安装在台面板上，包括：机架、驱动组件、升降组件、真空吸杆组件、第一激光传感器、第二激光传感器、第一料盒、第二料盒；所述机架竖直安装在所述台面板上，所述机架沿第一方向设有滑轨；所述...
该专利属于广东先导微电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东先导微电子科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。