【技术实现步骤摘要】
本技术涉及衬底片生产,特别是涉及一种衬底片的取片倒盒装置。
技术介绍
1、在衬底片的生产过程中,衬底片需要在各工序之间流转,现有技术中常采用人工的方式将不同料盒间的衬底片进行手动流转,人工成本较高,此外,此种流转方式采用人工操作无法保证衬底片流转时的位置精度,容易误操作对衬底片造成损伤,流转效率较低。
技术实现思路
1、本技术的目的是:提供一种衬底片的取片倒盒装置,实现衬底片在不同料盒之间的快速流转,降低人工成本,确保衬底片流转时的位置精度,自动化程度高,提升流转效率。
2、为了实现上述目的,本技术提供了一种衬底片的取片倒盒装置,安装在台面板上,包括:机架、驱动组件、升降组件、真空吸杆组件、第一激光传感器、第二激光传感器、第一料盒、第二料盒;
3、所述机架竖直安装在所述台面板上,所述机架沿第一方向设有滑轨;
4、所述驱动组件,安装在所述机架上,用于带动所述升降组件沿所述第一方向往复运动;
5、所述升降组件和所述滑轨滑动连接,且和所述驱动组件的
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1.一种衬底片的取片倒盒装置,安装在台面板上,其特征在于,包括:机架、驱动组件、升降组件、真空吸杆组件、第一激光传感器、第二激光传感器、第一料盒、第二料盒;
2.如权利要求1所述的衬底片的取片倒盒装置,其特征在于:所述驱动组件包括驱动电机、第一连杆以及第二连杆,所述驱动电机固定安装在所述机架,所述第一连杆的一端与所述驱动电机的输出端固定连接,所述第一连杆的另一端与所述第二连杆的一端转动连接,所述第二连杆的另一端与所述升降组件连接。
3.如权利要求2所述的衬底片的取片倒盒装置,其特征在于:所述升降组件包括滑动块、固定板、升降气缸、直线导轨以及升降
...【技术特征摘要】
1.一种衬底片的取片倒盒装置,安装在台面板上,其特征在于,包括:机架、驱动组件、升降组件、真空吸杆组件、第一激光传感器、第二激光传感器、第一料盒、第二料盒;
2.如权利要求1所述的衬底片的取片倒盒装置,其特征在于:所述驱动组件包括驱动电机、第一连杆以及第二连杆,所述驱动电机固定安装在所述机架,所述第一连杆的一端与所述驱动电机的输出端固定连接,所述第一连杆的另一端与所述第二连杆的一端转动连接,所述第二连杆的另一端与所述升降组件连接。
3.如权利要求2所述的衬底片的取片倒盒装置,其特征在于:所述升降组件包括滑动块、固定板、升降气缸、直线导轨以及升降板,所述滑动块和所述滑轨滑动连接,所述固定板和所述滑动块固定连接且与所述第二连杆的端部连接,所述直线导轨位于所述升降板以及所述固定板之间,所述直线导轨和所述升降板固定,所述直线导轨的滑块和所述固定板连接,所述升降气缸竖直安装在所述升降板上,所述升降气缸的输出端和所述固定板固定,所述真空吸杆组件安装在所述升降板上。...
【专利技术属性】
技术研发人员:王滔,周铁军,毕宏岩,
申请(专利权)人:广东先导微电子科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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