下载存储器的制备方法、存储器、器件及设备的技术资料

文档序号:44218912

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本申请提供一种存储器的制备方法、存储器、器件及设备,方法包括:在衬底上沿第一方向依次堆叠形成第一材料层和第二材料层,第一材料层的掺杂浓度和第二材料层的掺杂浓度不同;在WL区域刻蚀第一材料层和第二材料层,以形成半导体结构和BL结构;在WL区域...
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