下载铌酸锂/钽酸锂键合方法及应用的技术资料

文档序号:44218284

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本申请公开了一种铌酸锂/钽酸锂键合方法,属于单晶薄膜制备技术领域。该方法包括如下步骤:获得铌酸锂/钽酸锂载片、衬底载片;所述铌酸锂/钽酸锂载片、衬底载片中至少一种载片的单侧表面均匀覆盖有键合胶;将铌酸锂/钽酸锂载片与衬底载片对准,使键合胶位...
该专利属于甬江实验室所有,仅供学习研究参考,未经过甬江实验室授权不得商用。

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