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本技术涉及半导体材料制造技术领域，公开了一种衬底片的甩干装置，包括：支撑座，所述支撑座上设有齿圈；旋转组件，安装在所述支撑座上；多个转轴组件设于所述旋转组件的输出端，且位于所述齿圈内，所述转轴组件包括传动轴以及齿轮，所述传动轴竖直设置，且所...
该专利属于广东先导微电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东先导微电子科技有限公司授权不得商用。

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