一种衬底片的甩干装置制造方法及图纸

本技术涉及半导体材料制造技术领域，公开了一种衬底片的甩干装置，包括：支撑座，所述支撑座上设有齿圈；旋转组件，安装在所述支撑座上；多个转轴组件设于所述旋转组件的输出端，且位于所述齿圈内，所述转轴组件包括传动轴以及齿轮，所述传动轴竖直设置，且所述传动轴上端通过轴承座和所述支撑座转动连接，所述传动轴的下端固定设有所述齿轮，所述齿轮和所述齿圈啮合；多个放置治具，用于放置衬底片，所述放置治具和所述转轴组件数量相同、且位置一一对应，所述放置治具设于所述传动轴上端；本技术的有益效果：使满载衬底片的放置治具在公转的同时自转，利用公转与自转的离心力叠加去除衬底片表面水分，干燥效果好，提高干燥效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体材料制造，特别是涉及一种衬底片的甩干装置。

技术介绍

1、衬底片通常由单晶硅或其它半导体材料制成，用于晶圆制造以及生产半导体器件，其在加工过程中，需要对衬底片的表面进行湿法清洗，去除表面的杂质，在清洗后需要将衬底片表面上水分去除，进行干燥处理，现有技术中，一般将衬底片清洗后排列放置在治具上进行风干，此种干燥方式耗时较长，且治具上衬底片风干效果差异较大，干燥效率较低。

技术实现思路

1、本技术的目的是：提供一种衬底片的甩干装置，使满载衬底片的放置治具在公转的同时自转，利用公转与自转的离心力叠加去除衬底片表面水分，干燥效果好，提高干燥效率。

2、为了实现上述目的，本技术提供了一种衬底片的甩干装置，包括：

3、支撑座，所述支撑座上设有齿圈；

4、旋转组件，安装在所述支撑座上；

5、多个转轴组件设于所述旋转组件的输出端，且位于所述齿圈内，所述转轴组件包括传动轴以及齿轮，所述传动轴竖直设置，且所述传动轴上端通过轴承座和所述支撑座转动连接，所述传动轴的下端固本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种衬底片的甩干装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的衬底片的甩干装置，其特征在于：所述传动轴上端设有T形连接部，所述T形连接部上端面和所述放置治具底面贴合，所述T形连接部上开设有用于和所述放置治具固定连接的螺纹孔。

3.如权利要求1所述的衬底片的甩干装置，其特征在于：所述传动轴下端外壁设有用于和所述齿轮安装轴向定位的限位台阶。

4.如权利要求1所述的衬底片的甩干装置，其特征在于：所述转轴组件和所述放置治具的数量至少为4个。

5.如权利要求1所述的衬底片的甩干装置，其特征在于：所述放置治具包括底座以及卡塞，所述底座和所述传动轴...

【技术特征摘要】

1.一种衬底片的甩干装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的衬底片的甩干装置，其特征在于：所述传动轴上端设有t形连接部，所述t形连接部上端面和所述放置治具底面贴合，所述t形连接部上开设有用于和所述放置治具固定连接的螺纹孔。

3.如权利要求1所述的衬底片的甩干装置，其特征在于：所述传动轴下端外壁设有用于和所述齿轮安装轴向定位的限位台阶。

4.如权利要求1所述的衬底片的甩干装置，其特征在于：所述转轴组件和所述放置治具的数量至少为4个。

5.如权利要求1所述的衬底片的甩干装置，其特征在于：所述放置治具包括底座以及卡塞，所述底座和所述传动轴固定连接，所述底座上设有安装槽，所述安装槽的两侧相对设有所述卡塞，所述卡塞沿...

【专利技术属性】
技术研发人员：王滔，周铁军，毕宏岩，
申请(专利权)人：广东先导微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：