下载降温法生长氧化镓晶体的装置及其方法的技术资料

文档序号:44208889

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本申请公开一种降温法生长氧化镓晶体的装置及其方法,包括:坩埚加热单元,置于所述坩埚四周;升降单元,用于支撑所述坩埚;风冷单元,位于所述坩埚下方,用于调节所述坩埚下部的温度;其中,所述坩埚在所述升降单元的作用下能够进入或移出所述加热单元内,且...
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