下载一种二极管硅片生产用扩散高温出炉装置的技术资料

文档序号:44202112

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本发明涉及出炉装置技术领域,具体的说是一种二极管硅片生产用扩散高温出炉装置,包括机体,所述机体的内侧设置有加热炉,所述加热炉的内部贯穿安装有多个输风管;所述加热炉远离出口的一侧内壁固定安装有两个导向杆,所述导向杆的设置有套管,所述套管的顶部...
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