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本发明涉及成膜装置、成膜方法以及制造方法。在将基板和掩模对准而进行成膜的成膜装置中，适当地控制与基板抵接的部件和基板之间的位置关系。成膜装置具备：腔室，在腔室，向基板进行成膜；基板支承部，配置在腔室内，支承基板的外缘；掩模支承部，所述掩模支...
该专利属于佳能特机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能特机株式会社授权不得商用。

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