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本申请属于半导体制造设备技术领域，具体涉及一种喷涂装置及涂布显影设备，喷涂装置包括显影喷嘴组件和吹扫组件，显影喷嘴组件包括显影喷嘴，显影喷嘴具有进液端口和喷液端口，进液端口用于通入显影液，喷液端口用于喷出显影液，吹扫组件包括气体喷嘴，气体喷...
该专利属于深圳市章阁仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市章阁仪器有限公司授权不得商用。

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