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本发明提供一种基于沟槽栅型的垂直导电半导体器件及其制备方法,当在沟槽型栅极结构加压使体区反型形成沟道时,沟道区的电流会沿着环绕于位于体区内的沟槽型栅极结构的外侧壁向漂移区流动,通过设置掺杂浓度大于漂移区的掺杂层且掺杂层与体区接触,即沟道区的...该专利属于芯恩(青岛)集成电路有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过芯恩(青岛)集成电路有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种基于沟槽栅型的垂直导电半导体器件及其制备方法,当在沟槽型栅极结构加压使体区反型形成沟道时,沟道区的电流会沿着环绕于位于体区内的沟槽型栅极结构的外侧壁向漂移区流动,通过设置掺杂浓度大于漂移区的掺杂层且掺杂层与体区接触,即沟道区的...