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本发明涉及一种降低晶体管中鳍部错位的方法及其晶体管结构，包括：提供衬底；在所述衬底上沉积有浅沟槽隔离介电薄膜；在所述衬底上形成有鳍部，且鳍部从所述浅沟槽隔离介电薄膜的上表面突出；在所述衬底上还沉积有栅极，栅极横跨所述鳍部；在所述栅极中形成有...
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