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本发明提供了一种光阻添加装置和半导体设备，所述光阻添加装置包括光阻存储器、光阻管路和光阻添加组件；所述光阻存储器用于储存光阻；所述光阻管路设有若干个，且所述若干个光阻管路的两端分别连接所述光阻存储器和机台，以向所述机台输送所述光阻；所述光阻...
该专利属于芯恩（青岛）集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯恩（青岛）集成电路有限公司授权不得商用。

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