【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体，尤其涉及一种光阻添加装置和半导体设备。
技术介绍
1、光刻工艺是半导体制程工艺中的常用工艺。光阻(photoresist，pr)，也称为光刻胶或光阻剂，是指通过紫外光、深紫外光、电子束、离子束、x射线等光照或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀刻薄膜材液，是光刻工艺中的关键材液，主要应用于集成电路和半导体分立器件的细微图形加工。
2、目前，每次将光阻添加到光刻机台时都需要在机台报空警报,机台停机后才能进行操作，产线人员更换光阻后，清除警报，机台才能继续工作，会导致出现以下问题：
3、当机台发生光阻报空警报后，机台停止工作处于暂停状态，严重影响了机台产出效率；
4、(2)尽管很多工厂对更换光阻有严格的标准作业程序，但仍然无法杜绝人为因素导致的误换光阻，发生光阻换错或使用到过期光阻将会引起产品品质不稳定，甚至报废芯片；
5、(3)当前业界添加光阻方式为哪台机台发生警报，便更换哪台机台的光阻，在产量大的车间需要安排专人进行光阻更换，导致人力增加。
技术实...
【技术保护点】
1.一种光阻添加装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的光阻添加装置，其特征在于，所述光阻添加组件包括光阻瓶安置架和移动件，所述光阻瓶安置架用于承载倒置的所述光阻瓶，所述光阻瓶安置架通过所述移动件朝向或远离所述光阻存储器运动，以向所述光阻存储器内添加所述光阻或更换所述光阻瓶。
3.根据权利要求2所述的光阻添加装置，其特征在于，所述移动件包括竖向导轨和横向导轨，至少部分所述竖向导轨设置于所述光阻存储器的上方，所述横向导轨设置于所述竖向导轨远离所述光阻存储器的端部，所述光阻瓶安置架滑动设置于所述竖向导轨和所述横向导轨，且所述光阻瓶安置架滑...
【技术特征摘要】
1.一种光阻添加装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的光阻添加装置，其特征在于，所述光阻添加组件包括光阻瓶安置架和移动件，所述光阻瓶安置架用于承载倒置的所述光阻瓶，所述光阻瓶安置架通过所述移动件朝向或远离所述光阻存储器运动，以向所述光阻存储器内添加所述光阻或更换所述光阻瓶。
3.根据权利要求2所述的光阻添加装置，其特征在于，所述移动件包括竖向导轨和横向导轨，至少部分所述竖向导轨设置于所述光阻存储器的上方，所述横向导轨设置于所述竖向导轨远离所述光阻存储器的端部，所述光阻瓶安置架滑动设置于所述竖向导轨和所述横向导轨，且所述光阻瓶安置架滑动至所述光阻存储器上方的所述竖向导轨以向所述光阻存储器内添加所述光阻，所述光阻瓶安置架滑动至所述横向导轨以更换所述光阻瓶。
4.根据权利要求3所述的光阻添加装置，其特征在于，还包括控制器、以及与所述控制器连接的探测器和隔挡组件，所述隔挡组件活动设置于所述竖向导轨，所述光阻瓶设有标识光阻信息的条形码，所述探测器用于探测读取所述条形码并向所述控制器发送所述光阻信息，所述控制器分析判断所述光阻信息，并在所述光阻信息符合预设光阻信息时向所述隔挡组件发送第一驱动指令，所述隔挡组件根据所述第一驱动指令远离所述竖向导轨运动以允许所述光阻瓶安置架朝向所述光阻存储器运动。
5.根据权利要求1所述的光阻添加装置，其特征在于，还包括光阻瓶盖，所述光阻瓶盖可拆卸设置于所述光阻瓶瓶口，所述光阻瓶盖包括出液口和密封件，所述密封件活动设置于所述出液口；所述光阻存储器的顶端部设有与所述光阻瓶盖适配的进液部，当所述光阻瓶盖装载于所述进液部时，所述密封件远离所述出液口运动以连通所述光阻瓶与所述光阻存储器，当所述光阻瓶盖未装载于所述进液部时，所述密封件与所述出液口抵持设置以密封所述出液口。
6.根据权利要求5所述的光阻添加装置，其特征在于，所述光阻瓶盖还包括容纳槽、盖板、弹性件和密封件活动腔体，所述容纳槽用于供所述光阻瓶瓶口插入并容纳所述光阻，所述出液口设置于所述盖板，所述密封件活动腔体固定设置于所述盖板并由所述出液口朝所述容纳槽内延伸，所述密封件活动腔体设有出液通道以连通所述出液口和所述容纳槽，所述弹性件设置于所述密封件活动腔体并与所述密封件连接，所述弹性件带动所述密封件于所述密封件活动腔体内朝向或远离所述出液口运动，以密封所述出液口或连通所述出液口和所述容纳槽。
7.根据权利要求6所述的光阻添加装置，其特征在于，所述进液部包括底板、进液口、抵持部、以及与所述容纳槽对接的插入槽，所述进液口设置于所述底板，所述抵持部固定设置于所述底板并由所述进液口朝所述插入槽内延伸，所述抵持部设有进液通道以连通所述进液口和所述插入槽，当所述光阻瓶盖装载于所述进液部时，所述抵持部推动所述密封件于密封件活动腔体内远离所述出液口运动。
8.根据权利要求4所述的光阻添加装置，其特征在于，所述光阻瓶安置架包括光阻瓶固定件和滑动件，所述滑动件固定设置于所述光阻瓶固定件的侧壁，所述竖向导...
【专利技术属性】
技术研发人员：张孝雨，
申请(专利权)人：芯恩青岛集成电路有限公司，
类型：发明
国别省市：
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