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本发明公开了一种装载晶圆减震装置，半导体材料技术领域，该装置包括：装载手臂本体、两个导向件和两个支撑件；两个支撑件分别固定设置在装载手臂本体的装载部的两侧；支撑件上开设有第一水流道，装载手臂本体上靠近支撑件的位置开设有与第一水流道连通的第二...
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