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本发明公开了一种用于硅压力传感器TMAH腐蚀槽匀流板及其应用的腐蚀槽，包括板体，所述板体上开有匀流孔，板体安装在腐蚀槽内，且腐蚀槽的底部有进液孔，进液孔与板体相对，和现有技术不同的是，所述板体的底部安装有与进液孔相对的辅助匀流盘；所述辅助匀...
该专利属于安徽华鑫微纳集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽华鑫微纳集成电路有限公司授权不得商用。

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