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本发明提供一种膜厚测试结构及实时监测量测过程中光斑位置的方法，该膜厚测试结构包括沿X方向依次且间隔设置的多个测量块，每一测量块对应配置有一对编号字符，一对编号字符具有位于一矩形的四个顶点处的四个对称特征点，矩形的两条对角线交点作为测量块的中...
该专利属于芯恩（青岛）集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯恩（青岛）集成电路有限公司授权不得商用。

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