下载一种碳化硅MOSFET器件的技术资料

文档序号:44146593

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本发明公开了一种碳化硅MOSFET器件,属于半导体技术领域,该碳化硅MOSFET器件,包括N型衬底,N型衬底的顶部设置有N型外延层,N型外延层中横向排布有多个P型阱区,P型阱区之间的间距相等,P型阱区在纵向方向上宽窄交替设置,部分的P型阱区...
该专利属于杰平方半导体(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杰平方半导体(上海)有限公司授权不得商用。

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