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本发明公开了一种光机械式多轴扭矩传感器，包括：探针、回型纳米光束腔、光学晶体微腔以及支撑悬梁臂；通过光学晶体微腔和回型纳米光束腔的配合使用，建立不同轴向上波长与力和扭矩的线性关系，从而测出对应的力和扭矩，实现三轴上的扭矩测量。...
该专利属于电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学授权不得商用。

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