【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于扭矩测量，更为具体地讲，涉及一种光机械式多轴扭矩传感器。
技术介绍
1、三轴扭矩传感器是一种用于测量物体在三维空间中受到的力矩大小的设备。它能够同时检测三个方向上的扭矩，即x轴、y轴和z轴。这种传感器广泛应用于机器人技术、航空航天、汽车工业、生物力学等领域。传统的扭矩传感器只能测量单一方向的扭矩，而三轴扭矩传感器则可以同时测量三个方向的扭矩，大大提高了测量的准确性和效率。它的工作原理主要是通过测量物体在受到外力作用时产生的形变，然后将这些形变转化为电信号，再通过电路处理，最后得到扭矩的大小。三轴扭矩传感器的主要组成部分包括敏感元件、转换元件和处理电路。敏感元件是直接与被测物体接触的部分，它可以将物体的形变转化为可以被测量的物理量。转换元件则是将敏感元件转化得到的物理量转化为电信号。处理电路则是对电信号进行处理，最后得到扭矩的大小。三轴扭矩传感器的技术难点主要在于如何准确地测量出三个方向的扭矩，以及如何处理和分析这些数据。目前，这个问题已经得到了一定程度的解决，但是仍然存在一些挑战，例如如何提高传感器的灵敏度和稳定性，如何减...
【技术保护点】
1.一种光机械式多轴扭矩传感器，其特征在于，包括：探针、回型纳米光束腔、光学晶体微腔以及支撑悬梁臂；
2.根据权利要求1所述的一种光机械式多轴扭矩传感器，其特征在于，所述活动光学晶体和固定光学晶体的结构相同，光学晶体由两组阵列排布的光子晶体孔及位于之间的空气槽组成，光子晶体孔之间呈正六边形蜂窝状排布，形成光子晶体。
3.根据权利要求1所述的一种光机械式多轴扭矩传感器，其特征在于，所述回型纳米光束腔壁的四条边的正中央均设置有镜面图案，镜面图案的形状相同，且沿回型纳米光束腔壁的中心轴呈对称状态。
4.根据权利要求3所述的一种光机械式多轴...
【技术特征摘要】
1.一种光机械式多轴扭矩传感器，其特征在于，包括：探针、回型纳米光束腔、光学晶体微腔以及支撑悬梁臂；
2.根据权利要求1所述的一种光机械式多轴扭矩传感器，其特征在于，所述活动光学晶体和固定光学晶体的结构相同，光学晶体由两组阵列排布的光子晶体孔及位于之间的空气槽组成，光子晶体孔之间呈正六边形蜂窝状排布，形成光子晶体。
3.根据权利要求1所述的一种光机械式多轴扭矩传感器，其特征在于，所述回型纳...
【专利技术属性】
技术研发人员：邱根，彭友鑫，陈凯，黄勇军，鲜承伟，李喆，王伊凡，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：
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