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一种柔性电子器件及其制备方法、柔性电子设备技术
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文档序号:44081279
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本申请提供一种柔性电子器件及其制备方法、柔性电子设备。该方法包括:提供基板;对基板的表面进行图形化,以形成埋入槽以及柔性槽;埋入槽的数量为多个,分别位于柔性槽的两侧;将芯片贴入埋入槽,芯片与埋入槽的侧壁之间存在缝隙;利用干膜层压工艺,将光刻...
该专利属于北京大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学授权不得商用。
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