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一种插板阀及真空镀膜设备制造技术
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下载一种插板阀及真空镀膜设备的技术资料
文档序号:44034793
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本技术适用于真空镀膜设备技术领域,提供一种插板阀及真空镀膜设备,插板阀包括:内设有阀腔的阀体,阀体的侧壁上开设有与阀腔连通并相对设置的两个阀口;可活动设置于阀腔内的两个插板,两个插板与两个阀口一一对应配合并用于打开或关闭相对应的阀口;驱动组...
该专利属于深圳奥拦科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳奥拦科技有限责任公司授权不得商用。
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