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本发明公开了一种高平整度氮化硅基板的制备方法。通过配置有机胶、球磨混合、脱泡陈腐、流延成型、冲裁敷隔离粉、低温平化处理、空气排胶、加压烧结、隔离粉去除的步骤制成。本发明制备的氮化硅基板平整度好，粗糙度低，力学性能高。采用对苯二甲酸二(2‑乙...
该专利属于乐山职业技术学院所有，仅供学习研究参考，未经过乐山职业技术学院授权不得商用。

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