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一种大空间高密度放电等离子体装置及其应用制造方法及图纸
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下载一种大空间高密度放电等离子体装置及其应用的技术资料
文档序号:44003022
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本发明属于材料加工、能源及环保领域,涉及一种大空间高密度放电等离子体装置及其应用,该放电等离子体装置由可移动微米级丝状刷电极以及所配套的放电引发电极组合而成,其结合了低温等离子体和电弧放电的优点,通过控制电极对间距,实现低引发电压下大空间的...
该专利属于上海交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海交通大学授权不得商用。
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